[18p-C31-1~19] 12.7 医用工学・バイオチップ

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[18p-C31-14] CMOSにおいセンサの計測対象拡大を目指した容量検出画素の設計と作製

〇上條 友暉¹、木村 安行¹、野田 佳子¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、崔 容俊¹、高橋 一浩¹、澤田 和明¹、野田 俊彦¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：

においセンサ、CMOSセンサ、におい感応膜

本研究では，におい感応膜の容量変化を検出する画素の作製から計測可能なパラメータを増やすことで，ガスやにおいの計測対象の拡大を目指した．
作製した容量検出画素は、感応膜容量と出力回路容量による分圧を検出する構成とし ，電位や抵抗を検出する画素と混載した 32×32 画素アレイの作製を行った．
特性検証用画素を用いて評価を行い，容量に応じて出力電圧が変化することを確認した．