[18p-C31-1~19] 12.7 医用工学・バイオチップ

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[18p-C31-3] チャネル内部の機能化を可能にするゾル-ゲル法を用いたOne-piece ITO-TFTの作製

〇(D)片山 律¹、坂田 利弥¹ (1.東大院工)

キーワード：

半導体、バイオセンサ、酸化インジウムスズ

スパッタ法で成膜した導電性ITO薄膜の一部をエッチングにより半導体特性を示すように20nm程度まで薄くすることで、ひとつながりのITOからなる溶液ゲートITO-TFT (One-piece ITO-TFT)が簡単に作製できる。今回は、分子鋳型などのナノ構造が作製可能なゾルゲル法を用いてチャネル内部への分子鋳型の作製を目指し、まずはゾルゲル法によりOne-piece ITO-TFTを作製した。