[18p-D62-1~17] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェア

13:30 〜 13:45

[18p-D62-1] Auナノ粒子を内包するSiO₂フリースタンディング膜の作製と特性評価

〇久保田 真歩¹、一宮 正義²、番 貴彦²、柳澤 淳一² (1.滋賀県立大院工、2.滋賀県立大工)

キーワード：

Auナノ粒子、イオン注入、SiO2薄膜

熱酸化膜を有するSi基板にAu-Siイオン照射と大気中熱処理によりSiO₂薄膜内にAuナノ粒子を形成した後、基板裏面からSiのエッチングを行ってこのSiO₂薄膜のフリースタンディング化を試みた。反射スペクトルにはエッチングの影響は見られなかったが、透過スペクトルではAuナノ粒子による表面プラズモン吸収を示すスペクトルのディップ位置に変化したことから、SiO₂薄膜へのエッチングの影響が推測された。