[18p-D62-1~17] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェア

14:30 〜 14:45

[18p-D62-5] 自立グラフェン膜への水クラスターイオンビーム照射効果

〇(M1C)諸葛 亮佑¹、盛谷 浩右¹、持地 広造²、乾 徳夫¹ (1.兵県大工、2.NPO分析産業人ネット)

キーワード：

グラフェン、SIMS、クラスターイオン

グラフェンは高性能な次世代材料として注目されているが、デバイス利用のためには表面の非破壊クリーニングが必要である。我々はこれまでに、Arクラスターイオンビームを用いた非破壊クリーニングと表面状態のプロービングを提案してきた。本研究では、水クラスターイオンビームを用いてグラフェンを照射し、破壊特性を観察した。その結果、水クラスターイオンによるグラフェン破壊にエネルギー閾値があることが示唆された。