[18p-P02-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18p-P02-19] TiO₂/Cu積層薄膜のアニール処理による光触媒効果の向上

〇(M1C)伊藤 龍斗¹、鷹野 一朗² (1.工学院大院、2.工学院大工)

キーワード：

光触媒、反応性スパッタリング、積層型薄膜

我々は先行研究において、TiO₂層の下層にCuを挿入すると光触媒効果が向上することを確認した。これらの現象がプラズモン共鳴のホットキャリアによるものかどうかを確認することで、光触媒効率の向上を目指した。そこで我々は、アニール処理時間を変えることで欠陥やキャリアを変化させた試料を用意し、光触媒特性を比較した。その結果、3時間アニール処理した試料の効率が最も高かった。