[18p-P02-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18p-P02-7] 透明導電性AZO バッファ層を有するVO₂/AZO/Polyimide積層構造の作製と光スイッチング性能評価

〇平鍋 頼¹、于 鵬¹、渡部 なごみ²、蘭 田²、沖村 邦雄^1,2 (1.東海大学大学院工学研究科電気電子工学専攻、2.東海大学工学部電気電子工学科)

キーワード：

透明導電膜、二酸化バナジウム、スパッタリング