2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[18p-P02-8]IGZO薄膜TFTの酸素流量依存性

〇永井 慈1、Alshanbari Reem2、前島 邦光3、Kymissis Ioannis2、山本 伸一1 (1.龍谷大理工、2.コロンビア大学、3.電子科学)
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キーワード：

IGZO

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