2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[18p-P03-10]高温炎エッチングによるタングステン探針の単結晶化

〇新井 豊子1、宇都宮 信彦1、中野 陽平1、富取 正彦2 (1.金沢大自然、2.北陸先端科技大)
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キーワード：

タングステン探針、炎エッチング

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