[18p-P03-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[18p-P03-11] 探針増強ラマン分光用Au蒸着カンチレバー探針の作製と性能評価

〇(M1)李 碩磊¹、張 開鋒²、小林 圭¹ (1.京大工、2.日立製作所)

キーワード：

探針増強ラマン分光

走査型プローブ顕微鏡とラマン分光法を組み合わせた探針増強ラマン分光法（TERS）は、ナノスケールで表面形状や物理情報、局所的なラマンスペクトルを同時に取得できる分析手法であり、材料科学、生物学、ナノテクノロジーなどで期待されている。TERS信号強度や再現性の向上のため、探針先端の金薄膜の品質の最適化が必要である。今回、探針への金の蒸着条件を変えて、先端近傍の膜質とTERS信号強度との相関を調べたので、その結果について報告する。