[18p-P04-1~15] 12.2 評価・基礎物性

[18p-P04-2] 広範囲メカニクス計測のためのパルスフォースAFM制御システム

〇(M1)野島 拓樹¹、Chan Feng-Yueh²、小谷 崇博¹、利光 大雅¹、内橋 貴之²、岡嶋 孝治¹ (1.北大情報科学、2.名大院理)

キーワード：

原子間力顕微鏡

本研究では、広範囲スキャナーを利用して、広範囲メカニクス計測のためのPF-AFMシステムを構築した。広範囲走査を行うには、サンプルの凹凸に高速に追従するシステムの構築が不可欠である。そこで、探針スキャン型の高速AFM（HS-AFM）と一体化し、高速AFMと広範囲スキャナーとを連動して制御する方法をLabVIEW-FPGA上で開発した。構築したシステムの詳細とその性能評価について報告する。