[18p-P07-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

[18p-P07-2] Si基板上エピタキシャルKNN薄膜のBFOバッファ層の影響

〇HE JINGWEI¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：

圧電材料、バッファ層、薄膜

KNN薄膜は高いキュリー温度と優れた圧電特性から、鉛フリー圧電薄膜材料として非鉛圧電MEMSへの応用が期待されている。KとNaは揮発性で拡散しやすい性質があるためKNNを成膜中に不均一な組成や欠陥が生じやすく、誘電損失の増加や圧電性の低下が見られた。本研究では、BFOバッファ層を導入し、基板側へのアルカリ元素拡散を抑制する効果を調べた。エピタキシャルKNN/BFO膜をSi基板上に作製し、誘電特性と圧電特性について報告する。