[18p-P07-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

[18p-P07-5] 酸化ハフニウム基強誘電体膜の剥離によるメンブレン結晶の作製

〇槇 麟太郎¹、Yufan Shen¹、Xueyou Yuan²、山田 智明²、藤 颯太¹、菅 大介¹、島川 祐一¹ (1.京大化研、2.名大)

キーワード：

強誘電体薄膜、酸化ハフニウム、メンブレン結晶