[18p-P07-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

[18p-P07-6] 金属/HfZrO2/金属キャパシタの容量―電圧カーブの温度依存性

〇(M1)手島 蒼生¹、山 英司¹、山田 樹央¹、一野 祐亮¹、森 竜雄¹、清家 善之¹、牧原 克典²、田岡 紀之¹ (1.愛知工大、2.名大工)

キーワード：

強誘電体