[18p-P08-1~18] 12.4 有機EL・トランジスタ

[18p-P08-10] スパッタ法によるMgAg陰極成膜した有機EL素子の評価

〇菅原 洋紀¹、内田 敏治¹、松本 行生¹ (1.キヤノントッキ(株))

キーワード：

透明上部電極、MgAgスパッタ、トップエミッション

有機ELパネルの更なる大型化に向け，スパッタリングによる上部電極成膜を検討している．本研究では，円筒型MgAgターゲットにて成膜したスパッタ素子と蒸着素子の電流・電圧輝度特性の比較を行った．電子の注入性を改善するためにLiFを挿入すると，蒸着素子と比べて発光開始電圧が1V以下，電流輝度効率が同等の特性を得ることができた．