2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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講演情報

10:40 〜 10:50

[19a-A22-6]原子レベルの加工への挑戦 ～米国大学での海外業務研修を通じて～

〇中谷 侑亮1 (1.日立ハイテク)

キーワード：

原子層エッチング

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