[19a-A36-1~7] 8.3 プラズマナノテクノロジー

10:30 〜 10:45

[19a-A36-6] 2元スパッタリングによるSiナノワイヤーへのGe添加とLiイオン電池負極への応用

〇上田 竜雄¹、大前 知輝¹、藤掛 大貴¹、寺田 圭吾¹、長谷川 祥之¹、山崎 稜介¹、村瀬 瑠汰¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

スパッタリング、リチウムイオン電池