セッション詳細

[19a-A36-1~7]8.3 プラズマナノテクノロジー

2024年9月19日(木) 9:00 〜 11:00
A36 (朱鷺メッセ3F)
石川 健治(名大)、 内田 儀一郎(名城大)

[19a-A36-1]カーボンナノウォール成長時の構造制御と基板温度効果

ゴ クアンミン1、ノ ヴァンノン2、小田 修2、〇石川 健治2、堀 勝2 (1.名大工、2.名大プラズマ)
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[19a-A36-2]アモルファスカーボン膜へのカーボンナノ粒子挿入による応力低減に対するカーボンナノ粒子堆積特性の寄与

〇(D)小野 晋次郎1、恵利 眞人1、奥村 賢直1、山下 尚人1、鎌滝 晋礼1、木山 治樹1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大シス情)
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[19a-A36-3]TEOS/O2/ArプラズマCVD発光分光分析を用いたSiO2薄膜特性の機械学習予測

〇鎌滝 晋礼1、Fitriani Sukma2、佐藤 優志1、山本 祐馬1、黒崎 陽晴1、山下 大輔1、山下 尚人1、奥村 賢直1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大シス情、2.九大マスフォア研)
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[19a-A36-4]水素プラズマ誘起シリコンナノコーン構造にポストアニール処理が及ぼす影響

〇坂本 健1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.大阪大工)
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[19a-A36-5]Ge/LiAlGePO複合材料によるSEI層の安定化とLiイオン電池負極性能の改善

〇大前 知輝1、藤掛 大貴1、石原 雅之1、中田 智久1、丹羽 亮斗1、横井 玲音1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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[19a-A36-6]2元スパッタリングによるSiナノワイヤーへのGe添加とLiイオン電池負極への応用

〇上田 竜雄1、大前 知輝1、藤掛 大貴1、寺田 圭吾1、長谷川 祥之1、山崎 稜介1、村瀬 瑠汰1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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[19a-A36-7]Ni,Fe添加Si膜の粒径制御と高容量Liイオン電池負極への応用

〇山崎 稜介1、上田 竜雄1、寺田 圭吾1、長谷川 祥之1、藤掛 大貴1、村瀬 瑠汰1、横井 玲音1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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