[19a-A37-1~10] 3.7 光計測技術・機器

11:45 〜 12:00

[19a-A37-10] 低コヒーレンス干渉によるガラス基板の屈折率・厚みの同時計測

〇森田 大樹¹、高和 研利²、中島 由智²、高和 宏行²、増村 明²、大矢 尚司²、東口 武史¹ (1.宇大工、2.トライオプティクス)

キーワード：

低コヒーレンス干渉、屈折率計測、超広帯域光源

薄型ガラス基板は現代の技術発展に伴いVR技術、車載カメラなど様々な用途で用いられている。これらデバイスの設計にはガラスの波長分散(屈折率)が重要なパラメータである。今回、超広帯域光源と低コヒーレンス干渉法を組み合わせることで薄型ガラス基板の厚みと任意波長における屈折率を同時計測する方法を開発した。測定結果は他の測定値と比較してよい一致を示した。本講演では計測方法や実験結果についての詳細を議論する。