[19a-A37-1~10] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor

11:45 AM - 12:00 PM JST(2:45 AM - 3:00 AM UTC)

[19a-A37-10] Simultaneous measurement of refractive index and geometrical thickness of glass substrate using low-coherence interferometry

〇Hiroki Morita¹, Kento Kowa², Yoshitomo Nakashima², Hiroyuki Kowa², Akira Masumura², Naoji Oya², Takeshi Higashiguchi¹ (1.Utsunomiya Univ., 2.TRIOPTICS)

Keywords:

Low-coherence interferometry,Index measurement,Supercontinuum laser

薄型ガラス基板は現代の技術発展に伴いVR技術、車載カメラなど様々な用途で用いられている。これらデバイスの設計にはガラスの波長分散(屈折率)が重要なパラメータである。今回、超広帯域光源と低コヒーレンス干渉法を組み合わせることで薄型ガラス基板の厚みと任意波長における屈折率を同時計測する方法を開発した。測定結果は他の測定値と比較してよい一致を示した。本講演では計測方法や実験結果についての詳細を議論する。