講演情報

[19a-C42-7]ベイズ最適化を活用したGaN薄膜のスパッタ成長

〇齋藤 明紀1、金武 凜樹1、山田 直臣1 (1.中部大学)

キーワード:

ベイズ最適化、GaN、スパッタリング


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