2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[19a-C42-7]ベイズ最適化を活用したGaN薄膜のスパッタ成長

〇齋藤 明紀1、金武 凜樹1、山田 直臣1 (1.中部大学)
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キーワード：

ベイズ最適化、GaN、スパッタリング

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