[19a-D62-1~9] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

9:00 〜 9:15奨励賞エントリー

[19a-D62-1] AFM型局所熱拡散率測定による化学増幅型レジストの熱拡散率分布

〇(M2)森岡 亮太¹、劉 芽久哉²、森川 淳子¹ (1.東工大物質、2.産総研)

キーワード：

熱拡散率、温度波熱分析法、原子間力顕微鏡

温度波熱分析法は、周期加熱に対する物質の周期的な温度応答の位相遅れと振幅減衰から熱物性値を計測する手法である。位相遅れと振幅減衰の周波数依存性から、カンチレバー型のプローブのサンプル表面への近接状態を見積もることができる。本研究では、AFMカンチレバー型温度センサーと周期加熱を用いて、熱的な近接センシングを行ない、温度波熱分析法の原理に基づいた頑健な局所熱物性計測手法を開発した。