[19a-D62-1~9] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[19a-D62-5] 高Ge組成SiGe薄膜の液浸ラマンスペクトルに現れるブロードピークの温度依存性評価

〇前田 唯葉¹、横川 凌^1,2、小椋 厚志^1,2 (1.明治大理工、2.明治大MREL)

キーワード：

温度依存性

SiGeは、Siよりも高いキャリア移動度を有し、合金散乱により熱伝導率が低い等の利点から、次世代デバイス材料として期待されている。そこで、SiGe薄膜の液浸ラマンスペクトルにおいて、Ge-Ge振動モードの低波数側に現れるブロードピークに着目し、熱特性との関係を明らかにするために温度依存性を評価した。その結果、温度の上昇に伴い、ブロードピークは低波数側へシフトし、明確な温度依存性を確認した。