[19a-D62-1~9] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

11:00 〜 11:15

[19a-D62-8] ハイスループットな時間分解サーモリフレクタンス技術の開発

〇有馬 寛人¹、山下 雄一郎¹、八木 貴志¹ (1.産総研)

キーワード：

熱物性、薄膜、TDTR

薄膜の熱物性値を評価する従来の時間領域サーモリフレクタンス法(TDTR法)は、加熱用パルス光と測定用パルス光の到達時間の差を制御し、温度の時間変化を計測していた。しかし、従来の測定手法は1回の測定に10分程度の長い測定時間を要する問題点があった。本講演では、波長毎に異なるディレイを与えたプローブ光による一括測定による、TDTRのハイスループット化について議論する。