[19a-D63-1~9] 9.3 ナノエレクトロニクス

10:30 〜 10:45

[19a-D63-6] 逆積分変換法による1/f雑音の電子トラップ時定数分布の抽出

〇谷田部 然治¹、葛西 誠也² (1.熊本大、2.北大量集センター)

キーワード：

雑音、ランダムテレグラフノイズ、1/f

パワースペクトル密度S(f)が周波数fに反比例する1/f雑音は半導体デバイスの電流雑音として広く測定される。その主たる要因は酸化膜中や半導体表面・界面の欠陥等による電子トラップの充放電であるが、実験的に得られた複雑な形状のパワースペクトル密度S(f)からトラップの時定数分布G(τ)を導出する手法は確立されていない。そこで本研究ではトラップの時定数分布G(τ)を導く新規手法について検討した。