[19a-P04-1~13] 3.6 レーザープロセシング

[19a-P04-11] レーザー集積固化プロセスにおける集光部周辺バブルの形状評価

〇(M2)青山 昌央¹、鈴木 紗和²、西山 宏昭¹ (1.山形大院理工、2.山形大工)

キーワード：

超短パルスレーザー、レーザー直接描画、ナノ粒子

我々は，超広域材料群に拡張可能な超短パルスレーザー駆動粒子集積プロセスの開発に取り組んでいる．この粒子集積機構として，集光部での二光子還元反応で析出したAgを起点とした熱バブル発生と周辺対流の駆動を提案してきた．レーザー走査時のバブル形状は，周辺温度場と流速場に強く影響すると考えられ，その評価は重要である．本研究では，集光部で生じるバブル形状が周辺対流に与える影響について評価した．