2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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13:40 〜 14:10

[19p-A35-2]絶縁膜上におけるIV族、III-V族半導体多結晶薄膜の高品位形成

橋本 隆1、梶原 隆司1、茂藤 健太2、山本 圭介2、〇佐道 泰造1 (1.九大システム情報、2.九大総理工)

キーワード：

半導体、Ge、InSb

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