[19p-A35-1~10] 薄膜半導体の結晶化とデバイス応用

15:55 〜 16:25

[19p-A35-6] 光結晶化技術によるフレキシブル高移動度透明導電膜の実現とそのデバイス応用

〇野本 淳一¹ (1.産総研)

キーワード：

透明導電膜、光照射、固相結晶化

波長やパルス幅によって熱・化学的効果が制御可能な光照射技術は、高温が適用できないために従来は限定されていた性能や形成を脱却し、更なる発展・普及が見込まれるフレキシブル電子デバイスの高度化を支える有望技術である。本発表では、その中でも光照射による固相結晶化の採用が特に好適であったフレキシブル高移動度透明導電膜開発について紹介する。