[19p-A35-1~10] 薄膜半導体の結晶化とデバイス応用

16:25 〜 16:55

[19p-A35-7] OLED Displayの最先端バックプレーン技術 ～LTPS、LTPOからHMO(高移動度酸化物半導体)へ～

〇津吹 将志¹、渡壁 創¹、佐々木 俊成¹、田丸 尊也¹、望月 真里奈¹ (1.JDI)

キーワード：

酸化物半導体、高移動度、薄膜トランジスタ

近年、モバイル機器やウェアラブル機器の市場はますます拡大しており、それらの製品においては低消費電力に関する要求がさらに強くなってきている。この要求に対し、特にOLEDディスプレイのバックプレーンにおいては、LTPSからLTPO、さらには高移動度酸化物半導体TFTといった技術革新が進みつつある。我々が開発しているHMO(High Mobility Oxide)技術を中心に、これらの技術の特徴とそのTFT特性について、報告を行う。