[19p-B2-1~14] 3.6 レーザープロセシング

13:30 〜 13:45

[19p-B2-3] フェムト秒レーザーパルスからアモルファスシリコンへのエネルギー移行の第一原理計算

〇具志堅 英雄¹、乙部 智仁²、谷 水城²、山田 俊介²、石川 顕一¹ (1.東京大工、2.量研)

キーワード：

アブレーション、時間依存密度汎関数理論、TDDFT、アモルファスシリコン

超短パルスレーザー加工過程の学理解明を念頭に、密度汎関数理論に基づく構造最適化計算によって得られた原子配置を用い、フェムト秒レーザーパルスからアモルファスシリコンへのエネルギー移行を時間依存密度汎関数理論に基づき計算した。得られた原子配置は特徴的な局所構造を有し、エネルギー吸収量はその構造に依存することがわかった。