[19p-B2-1~14] 3.6 レーザープロセシング

14:00 〜 14:15

[19p-B2-5] ホログラフィックレーザー加工における光干渉法を用いた構造のインライン計測

〇梅津 廉¹、早崎 芳夫¹、長谷川 智士¹ (1.宇大　オプティクス教育研究センター)

キーワード：

光干渉計、フェムト秒レーザー

超短パルスレーザーによる加工は，パルス幅，エネルギー，繰り返し周波数を含む様々なレーザー照射条件に影響される．一般に，目的の加工を得るための最適なレーザー照射条件の探索には，ポストプロセス計測による繰り返し実験が必要となる．本研究では，レーザー照射条件の効率的な探索を目的として，レーザー加工された構造の光干渉計によるインライン計測を行った．