講演情報

[19p-B3-8]単結晶ダイヤモンド成長表面のin-situ顕微観察

〇新田 魁洲1、嶋岡 毅紘1、山田 英明1、坪内 信輝1、茶谷原 昭義1、杢野 由明1 (1.産総研)
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キーワード:

ダイヤモンド、プラズマCVD、in-situ観察


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