セッション詳細
[19p-B3-1~22]6.2 カーボン系薄膜
2024年9月19日(木) 13:00 〜 19:15
B3 (展示ホールB)
中村 挙子(産総研)、 嶋岡 毅紘(産総研)、 大曲 新矢(産総研)、 片宗 優貴(九工大)
[19p-B3-1]真空アーク蒸着装置による水素フリーDLC成膜におけるインターバル冷却の効果
〇渡辺 聖也1、佐野 絃貴1、大根田 みらの1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))
[19p-B3-2]水素フリー硬質DLC膜の高速成膜フィルタードアーク蒸着装置における放電維持
〇佐野 絃貴1、渡辺 聖也1、大根田 みらの1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))
[19p-B3-3]大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたDLC 成膜における希ガスの効果
〇松本 詩郎1、小田 昭紀2、針谷 達3、上坂 裕之3、太田 貴之1 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)
[19p-B3-5]レーザ接合による水素化アモルファス炭素膜の構造変化
〇長谷 嘉琉1、Tunmee Sarayut2、青野 祐子1、Rittihong Ukit2、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東工大、2.タイ放射光研究所)
[19p-B3-14]Niナノ粒子を用いた原子的平坦ダイヤモンド上1次元ナノピット生成
〇林 寛1,2、小林 和樹1、片山 まどか1、金子 雄飛1、市川 公善2、吉川 太朗2,3、松本 翼1,2、猪熊 孝夫1、山崎 聡2、徳田 規夫1,2 (1.金沢大、2.金大ナノマリ、3.(株)ダイセル)
[19p-B3-15]二峰性粒度分布を持つダイヤモンド粒子を用いた高充填伝熱シートの熱伝導率に電界整列が与える影響
〇久保田 吉彦1、市来 宗一郎1、稲葉 優文1、中野 道彦1、末廣 純也1 (1.九州大)
[19p-B3-17]ホウ素ドープダイヤモンド電気化学電極を用いた高圧水中におけるCO2検出
〇井口 誠大1、稲葉 優文1、大曲 新矢2、中野 道彦1、末廣 純也1 (1.九州大、2.産総研)
[19p-B3-18]Effect of Oxygen Terminal Surface Adsorption Layer on Energy Dissipation in Single-Crystal Diamond MEMS
〇Keyun Gu1,2, Zilong Zhang3, Wen Zhao1, Guo Chen1, Jian Huang2, Satoshi Koizumi1, Yasuo Koide1, Meiyong Liao1 (1.National Institute for Materials Science, 2.Shanghai University, 3.Tohoko University)
[19p-B3-19]原子的に平坦なAl2O3/ダイヤモンド(111)界面を持つp型反転層MOSFETの作製
〇小林 和樹1、佐藤 解1、加藤 宙光2、小倉 政彦2、牧野 俊晴2、松本 翼1、市川 公善1、林 寛1、猪熊 孝夫1、山崎 聡1、Christoph Nebel1,3、德田 規夫1 (1.金沢大、2.産総研、3.Diacara)
[19p-B3-20]走査型非線形誘電率顕微鏡によるAl2O3/OHダイヤモンド(111)の局所DLTS/CV特性同時測定
〇山末 耕平1、松本 翼2、德田 規夫2、長 康雄3 (1.東北大通研、2.金沢大ナノマリ研、3.東北大NICHe)
[19p-B3-22]SiO2/Al2O3多層膜を用いたダイヤモンドMOS構造
の作成
〇中川 龍一1、斎藤 泰地1、松本 翼2、徳田 規夫2、川江 健1 (1.金沢大理工、2.金沢大ナノマリ研)