[19p-B6-1~18] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

13:30 〜 13:45

[19p-B6-3] フレキシブル圧電体と高急峻FETを用いた高感度圧力センサの開発

〇(M2)首藤 龍馬¹、二階堂 圭¹、井上 悟¹、長谷川 達生¹ (1.東大院工)

キーワード：

圧力センサ、圧電体、半導体

近年、ヒトの触覚機能を代替・拡張する力覚センサの開発が注目を集めている。なかでも信号増幅や集積化が容易であることからFETを利用した圧力センサの開発が期待されている。今回、フレキシブルな有機圧電体と層状有機半導体による高急峻スイッチングFETを組み合わせることにより高感度な圧力センサデバイスを試作した。