[19p-C41-1~24] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

14:00 〜 14:15

[19p-C41-5] 高温下におけるシリコンキャップアニールコンタクトの長期安定性評価

〇福澤 尊仁¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大先進理工)

キーワード：

炭化珪素、オーミック電極、高温特性

シリコンキャップアニール(SiCA)を行い形成した電極の高温下における長期安定性を調査した。高温長期特性の評価は300℃で100時間まで10時間ごと評価を行った。Al/SiCA-SiC電極、Ni/SiCA-SiC電極のコンタクト抵抗に顕著な変化が見られない一方、Ni₂Si電極においてはコンタクト抵抗の大きな増大が見られた。SiCA電極を用いることで、高温環境下においてもコンタクトの長期安定性に優れていると考えられる。