[19p-D62-1~17] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

17:00 〜 17:15

[19p-D62-14] 過渡熱応答測定による金属-CNT界面熱抵抗の考察

〇林 孝祐¹、中野 貴之¹、井上 翼¹ (1.静大院工)

キーワード：

カーボンナノチューブ

CNT先端部と冷却源の接合状態を変化させた試料について、過渡熱応答により調査を行った。基板上に垂直配向CNTフォレストを合成し、CNT先端部にAlを堆積させることで接触熱抵抗の変化を調査した。得られた過渡冷却曲線を数値演算して構造関数に変換し、ステップ構造を分解することで試料の熱抵抗を見積もった。