[19p-P02-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

[19p-P02-3] 大気圧プラズマジェットの不均一・時間変動現象

〇松本 理奈¹、ペナード キースニールソン¹、和田 元¹、吉川 治周¹ (1.同志社大理工)

キーワード：

大気圧プラズマ、容量結合型プラズマ

本研究では，軸方向 RF 電界によって誘電体壁流路中のアルゴンガスにグロー放電を形成する容量結合型大気圧プラズマ源を用い，その生成されたプラズマの発光部分の振舞を光学観測した．発光プラズマが不均一に分布し回転する現象を発見した．また，アルゴンガス流量，入力電力，プラズマ点弧時間等の条件による発光プラズマの形状変化について調査し，発光分光計測を用いて回転運動に伴うプラズマパラメータ変化について検討する.