セッション詳細
[19p-P02-1~13]8.1 プラズマ生成・診断
2024年9月19日(木) 13:30 〜 15:30
P02 (展示ホールA)
[19p-P02-11]深振動マグネトロンスパッタリング(DOMS) プラズマにおける発光分光分析(OES)を用いたAr原子の励起発光過程に関する解析
〇横山 英佐1、中川 悠幹1、小林 宏輝1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
[19p-P02-12]深振動マグネトロンスパッタリングにおいて生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光
〇中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大学、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
[19p-P02-13]リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分同時検出エネルギー分布計測
〇小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)