セッション詳細

[19p-P02-1~13]8.1 プラズマ生成・診断

2024年9月19日(木) 13:30 〜 15:30
P02 (展示ホールA)

[19p-P02-1]大気圧プラズマジェットで生成するイオンに対する添加ガスの影響

〇(B)道倉 心音1、ロー シンイン1、長門 研吉1、栗田 弘史2 (1.高知高専、2.豊橋技科大)
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[19p-P02-2]大気圧H₂O/Arプラズマのジェット部におけるOHとHの絶対密度

〇(M1)山川 司1、稲垣 慶修1、佐々木 浩一1 (1.北大工)
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[19p-P02-3]大気圧プラズマジェットの不均一・時間変動現象

〇松本 理奈1、ペナード キースニールソン1、和田 元1、吉川 治周1 (1.同志社大理工)
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[19p-P02-5]大気圧プラズマジェットにおける荷電粒子挙動の安定性と周囲温度の関係

〇知久 颯馬1、野沢 拓登1、坂本 翔馬1、山田 大将1 (1.長野高専)
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[19p-P02-7]高速ピエゾバルブを用いた液体材料供給のパルス制御と計測

〇紀平 侑樹1、中家 佑吾1、森山 匠1、占部 継一郎2 (1.堀場エステック、2.京大院工)
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[19p-P02-8]局所誘導結合型原子源で生成される水素原子の発光分光測定

〇大槻 龍騎1、井ノ口 雄矢1、和田 元1、粕谷 俊郎1 (1.同志社大)
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[19p-P02-9]誘導結合型水素プラズマ照射下のポリイミド表面近傍の水素原子計測

〇南谷 将平1、竹田 圭吾1、平松 美根男1 (1.名城大理工)
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[19p-P02-10]タングステン中性粒子の速度分布計測

〇芳谷 龍伸1、Lee Heun Tae1 (1.阪大院工)
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[19p-P02-11]深振動マグネトロンスパッタリング(DOMS) プラズマにおける発光分光分析(OES)を用いたAr原子の励起発光過程に関する解析

〇横山 英佐1、中川 悠幹1、小林 宏輝1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
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[19p-P02-12]深振動マグネトロンスパッタリングにおいて生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光

〇中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大学、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
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[19p-P02-13]リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分同時検出エネルギー分布計測

〇小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
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