[19p-P06-1~50] 10 スピントロニクス・マグネティクス（ポスター）

[19p-P06-50] 3次元デバイスを目指した凹凸構造側面部への垂直磁化膜の作製

〇安田 優也¹、黒川 雄一郎²、鷲見 聡¹、粟野 博之¹、田辺 賢士¹ (1.豊田工大工、2.九州大工)

キーワード：

レーストラックメモリ、3次元デバイス、垂直磁化膜

近年、スピントロニクス分野では3次元磁気デバイスの研究が注目されている。レーストラックメモリは高性能で安価なメモリとして期待されており、3次元化によってさらに超高密度化することができる。しかし、3次元レーストラックを実現するためには、3次元の構造物の側面部分にも垂直磁化膜を作製する必要がある。そこで我々は、ナノインプリント法を用いて基板の凹凸構造側面部への垂直磁化膜の作製に成功したので報告する。