[19p-P07-1~13] 13.9 化合物太陽電池

[19p-P07-10] 金属ターゲットと硫黄プラズマを用いた反応性スパッタによるCu_xS・ZnS・SnS・WS₂薄膜の作製

〇(M2)茂田井 大輝¹、野上 大一¹、鈴木 一誓¹、小俣 孝久¹ (1.東北大)

キーワード：

硫化物薄膜、遷移金属ダイカルコゲナイド、反応性スパッタリング