[19p-P08-1~1] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[19p-P08-1] 加圧式Optical Floating Zone 法を用いた高品質InGaO₃(ZnO)₄大型単結晶の育成条件と電気輸送特性

〇平井 萌々香¹、小海 稜太郎¹、山崎 優樹¹、高橋 拓海¹、井上 禎人¹、進藤 勇²、木村 伸二²、渡辺 崇司²、加瀬 直樹¹、宮川 宣明¹ (1.東理大先進工、2.(株)クリスタルシステム)

キーワード：

IGZO、フローティングゾーン、透明導電性酸化物半導体