2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[19p-P09-8]スパッタ法によるSnドープ及びZn変調ドープInSb1-xNx薄膜成長

〇藤川 紗千恵1、有路 結斗1、矢口 裕之1 (1.埼玉大学院理工)

キーワード：

スパッタ、ナローバンドギャップ、希薄窒化物半導体

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