2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[19p-P09-9]マグネトロンスパッタ法によるInSb1-xNx 薄膜を用いたPIN 構造の作製

〇(M1)有路 結斗1、矢口 裕之1、藤川 紗千恵1 (1.埼玉大院理工)

キーワード：

InSb、スパッタ

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