[19p-P10-1~6] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[19p-P10-3] ECRスパッタMoOx-Siヘテロ接合太陽電池の界面パッシベーション評価

〇今井 楓大¹、吉田 拓真¹、齋藤 洋司²、小林 康之¹、渡邊 良祐¹ (1.弘前大院理工、2.成蹊大院理工)

キーワード：

シリコン太陽電池、表面パッシベーション、酸化モリブデン

酸化モリブデンは仕事関数が大きく（6.9 eV）、シリコンとの接合界面でバンドが曲がり、太陽電池として機能する。界面準位による界面での光励起キャリア再結合が光電変換特性に影響を与える。本研究では、ECRスパッタ装置を用いて作製した酸化モリブデン-シリコンヘテロ接合太陽電池のMoO_x/Si界面にパッシベーション層としてSiO₂を導入することで界面での再結合を抑制し、太陽電池の変換効率向上を目指した。