[19p-P10-1~6] 16 Amorphous and Microcrystalline Materials (Poster)

[19p-P10-3] Evaluation of surface passivation properties of ECR sputter deposited MoOx-Si hetero-junction solar cells

〇Futa Imai¹, Takuma Yoshida¹, Yoji Saito², Yasuyuki Kobayashi¹, Ryosuke Watanabe¹ (1.Hirosaki Univ., 2.Seikei Univ.)

Keywords:

Silicon solar cells,surface passivation,Molybdenum oxide

酸化モリブデンは仕事関数が大きく（6.9 eV）、シリコンとの接合界面でバンドが曲がり、太陽電池として機能する。界面準位による界面での光励起キャリア再結合が光電変換特性に影響を与える。本研究では、ECRスパッタ装置を用いて作製した酸化モリブデン-シリコンヘテロ接合太陽電池のMoO_x/Si界面にパッシベーション層としてSiO₂を導入することで界面での再結合を抑制し、太陽電池の変換効率向上を目指した。