[20a-A32-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

9:30 〜 9:45

[20a-A32-3] 対向円筒ターゲットを用いた高周波リング状磁化プラズマ生成に
及ぼす磁石配置の影響

〇近藤 文太¹、大津 康徳¹ (1.佐賀大学)

キーワード：

プラズマ