2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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9:45 〜 10:00

[20a-A32-4]PFAターゲットを用いた高周波マグネトロンプラズマの空間分布

〇久野 凌平1、大津 康徳1、安永 健2、池上 康之3 (1.佐大院理工、2.阪神通電、3.佐大海エネ)
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キーワード：

高周波マグネトロンプラズマ

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