[20a-A32-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[20a-A32-5] トモグラフィック発光分光計測とアルゴン衝突輻射モデルにもとづくCF₄/O₂/Arプラズマの電子温度・電子密度・EEDFの位置分布診断

〇(DC)山下 雄也^1,2、土居 謙太³、清田 哲司³、叶 宇晨¹、島谷 和希¹、何 文涛¹、羽生 陽向¹、菊地 航行¹、櫻井 彩貴¹、根津 篤¹、赤塚 洋¹ (1.東工大、2.学振DC、3.アルバック)

キーワード：

発光分光計測、分光トモグラフィ、衝突輻射モデル

分子性混合プラズマは，原子分子過程が複雑なため診断が難しい．本研究では，混合プラズマ中の単原子分子の原子分子過程に着目し，診断を実現した．トモグラフィック発光分光計測により取得したCF₄/O₂/Ar誘導結合プラズマの発光スペクトルを，Ar衝突輻射モデルにより解析した．電子温度，電子密度，一般化電子エネルギー分布関数 (EEDF) を，位置分布として診断した．EEDFは非Maxwellであった．