[20a-P01-1~21] 3.7 光計測技術・機器

[20a-P01-11] 高ダイナミックレンジ膜厚測定のための振幅変調波干渉の実験的検討

〇(M1)若林 楓真¹、河合 孝太郎² (1.阪大院工、2.神戸高専)

キーワード：

光干渉、厚さ測定、ヘテロダイン干渉

本研究では，波長がわずかに異なる2光波を同軸ヘテロダイン干渉させることで生じる振幅変調波を用いて，数nmから数mmの膜厚測定が可能なダブルヘテロダイン干渉系を提案する。本手法が4光束干渉による干渉縞から膜厚測定可能であることは，理論および数値計算によって実証済みである。そこで本発表では，提案手法の実験実証のために振幅変調波干渉を行なった結果について発表する。