[20p-A31-1~14] 17.3 層状物質

15:30 〜 15:45

[20p-A31-9] 層状ヒ化ゲルマニウム膜の熱酸化による膜厚制御

〇蓮見 歩太^1,2、浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大工、2.信州大　先鋭材料研)

キーワード：

ヒ化ゲルマニウム