[20p-A34-1~12] 3.8 テラヘルツ全般

16:45 〜 17:00

[20p-A34-12] サブ波長構造を用いた10THz帯Si GRINレンズアレイの作製

〇(M1)和田 想人¹、松木 拓人¹、植田 雅大¹、渡辺 勇太¹、大家 拓巳¹、中岡 俊裕¹、鈴木 仁研²、正光 義則³、和田 武彦⁴ (1.上智大理工、2.宇宙航空研究開発機構、3.量子場計測システム国際拠点/高エネルギー加速器研究機構、4.国立天文台)

キーワード：

テラヘルツ光、GRINレンズ、サブ波長構造

中間–遠赤外線波長帯は，宇宙の固体微粒子からの放射が含まれる波長帯である．波長30～60 µm帯における高感度な赤外線検出器の開拓のため，本研究グループは同波長域の冷却サイクルに強くかつ集積化に適した平坦なレンズとしてサブ波長構造によるSi 屈折率分布型GRINレンズを研究してきた．本研究では，サイズ縮小したアレイ型検出素子へ集光するためのSi GRINレンズアレイの作製について報告する．